半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1.硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三等。
工业气体在购买后，为了保证使用，其存放也需要也别注意，今天小编就跟大家讲一下：
1.首先要应对气瓶的漆色、查验日期、外观、各种标贴及其安全装置停止检查，承认盛装气体正确无误。
2.应对气瓶的漆色、查验日期、外观、各种标贴及其安全装置停止检查，承认盛装气体正确无误，
3.不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）停止试验剖析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
4.气瓶不运用时应戴瓶帽。若只能接受一般的工业运送，假如遭受剧烈震动、碰击、倾倒，则会损坏以致不能运用。在贮存、运送及运用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐坚持直立状态。 液化气体温度低，容易惹起 。
气体的作用都是不可小视的，那么今天这种高纯氮气，我们先来了解一下它的化学性质，只有这样，才能更深入的了解高纯氮气这项气体的性质，首先，气体大部分都是无色透明的，这是一个基本的常识，但是高纯氮气组成的气体会是什么样子的呢，今天我们一起来研究。
由氮元素的氧化态-吉布斯自由能图也可以看出，除了NH4+离子外，氧化数为0的N2分子在图中曲线的低点，这表明相对于其它氧化数的氮的化合物来讲的话，N2是热力学稳定状态结构。氧化数为0到+5之间的各种氮的化合物的值都位于HNO3和N2两点的连线的上方，因此，这些化合物在热力学上是不稳定的，容易发生歧化反应。
由氮分子中三键键能很大，不容易被***，因此其化学性质十分稳定，只有在高温高压并有催化剂存在的条件下，氮气可以和氢气反应生成氨。
