半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类,主要包括:
1.硅族气体:含硅基的类,如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体:含硼、磷、等三族及五族原子之气体,如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体:以含卤化物及卤碳化合物为主,如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六氟化钨、三等。
由空气分离装置产出的氧气,经过压缩机的压缩,将压缩氧气装入高压钢瓶贮存,或通过管道直接输送到工厂、车间使用。使用这种方法生产氧气,虽然需要大型的成套设备和严格的安全操作技术,但是产量高,每小时可以产出数千、万立方米的氧气,而且所耗用的原料仅仅是不用买、不用运、不用仓库储存的空气,所以从1903年研制出一台分制氧机以来,这种制氧方法一直得到的应用。
氧气和工业氧气的主要区别在于对氧气中水分的控制。咱们日子中常常有这样的经历,经表面光洁,没有生锈的铁放在露天很长时间也不会生锈,但是一场大雨过后就会锈迹斑斑。这是因为氧气在有水存鄙人的时候才会使大量的铁分子氧化。而且铁氧化后不只会有铁锈还有氢气等其他对******的气体被排出。铁被氧化后形成铁锈,铁锈很疏松,很简单形成小颗粒混入氧气中。被吸入,然后引起等呼吸道的损伤。所以氧气生产上很大程度的降低氧气中的水分含量是极其重要的。