半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1.硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三等。
工业氧气的用途
工业氧主要用于气体火焰加工和其他工业目的，执行的是***推荐性标准。
在化工行业，工业氧气用于改变产品分子结构，提高乙烯、丙稀、氯化物工艺的生产能力。
在炼油、煤制气行业，工业氧气用于石油提取和精制，增加油、气井产量和脱硫等。
在炼钢行业，工业氧气用于提高钢材的产量和质量。
制备流程
主要应用深度冷冻原理从空气中分离出氧气。主要包括下列几个过程：
1、空气的压缩；
2、空气中水分和二氧化碳的清除；
3、空气被冷却到液化温度：氧在-182.9度变为淡蓝色液体，而氮气要在-195.8度时变为易流动的液体；
4、冷量的制取；
5、空气的液化；
6、精馏：在精馏塔亦即上下塔中进行；
7、***杂质的清除。
铁氧化后不只会有铁锈还有氢气等其他对******的气体被排出。铁被氧化后形成铁锈，铁锈很疏松，很简单形成小颗粒混入氧气中。被吸入，然后引起等呼吸道的损伤。所以氧气生产上很大程度的降低氧气中的水分含量是极其重要的。
工业氧是用于工业生产及产品加工的气体，质量要求较低一般要求纯度在99%以上为合格。灌装规程不如氧气严厉，常常会有水分和其他杂质混入而且残留在钢瓶氧气钢瓶中，混入和残留在钢瓶中的水份会导致氧气瓶内壁锈蚀，然后使瓶内气体带有异味。
