




氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分:氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离,电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场,离子束在磁场力的作用下,旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极,此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后,经小电流放大器、微处理器,控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。部件-分子泵,采用*检漏仪用的分子泵。 美国AD放大器,有效降低了检漏仪本身的噪音,提高了检漏仪的灵敏度。 180度非均匀磁场的质谱室设计,对焦准确,灵敏度高。 检漏口耐压高,可检漏率量程宽,大漏小漏全可检。 离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝,寿命长、灵敏度高。 检漏状态下的三屏切换,信息更丰富,氦检漏仪费用,检漏更方便。 具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。 全自动液晶触摸彩屏显示,实现了智能自动化,检漏仪,操作方便、简单可靠。 中英文菜单。正压法氦质谱检漏:采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。正压法氦质谱检漏:采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,制冷剂检漏仪,从而实现被检产品泄漏测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成,氦质谱检漏仪,而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。近年来由于电子工业的发展,空间探索活动的增加,检漏技术得到了快速发展,它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。
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