掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。针对氦质谱检漏仪内部密封结构出现泄漏，检测信号不准确，质谱室故障，分子泵不工作，前机泵不工作等问题，提出了解决办法和建议。
如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，检漏仪厂家，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，检漏仪，易造成误检和误判。为什么要检漏：泄漏与密封相对应。在许多情况下，我们需要密封一定的空间，以防止气体或液体在压力下流入或流出这个空间。
针对氦质谱检漏仪内部密封结构出现泄漏，检测信号不准确，质谱室故障，分子泵不工作，前机泵不工作等问题，提出了解决办法和建议。氦检漏设备在高速工作时，防水检漏仪，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，检漏仪使用，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。
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