






石墨热场
石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸的石墨热场。
热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。
加热时间过长、石英坩堝质量不过关、原料酸碱度未达到要求,会导致漏硅和渗硅,G7热场哪里有,熔硅渗入三瓣堝之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣堝,二是使三瓣堝相互粘接,在清炉时,使其分离有可能造成断裂。G7热场
石墨热场主要由三种材料组成:特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件。石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。单晶炉用石墨热场系统简介:热系统长期使用在高温下,所以要求石墨材质结构致密、坚固、耐用、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。G7热场

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