半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1.硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。
2.掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3.蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六氟等。
4.反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5.金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三等。
工业气体氧气在工业中的使用是什么?下面咱们来看看工业氧气够做什么。
工业气体氧气的使用
1、化学工业
在出产合成氨时，氧气主要用于原料气的氧化，以强化工艺过程，进步化肥产量。再例如，重油的高温裂化，以及煤粉的气化等。
2、工业
液氧是现代火箭很好的助燃剂，在超音速飞机中也需求液氧作氧化剂，可燃物质浸渍液氧后具有激烈的性，可制造液氧。
3、***
供应呼吸：用于缺氧、低氧或无氧环境，例如：潜水作业、登山运动、高空飞行、宇宙飞行、抢救等时。
4、其它方面
它本身作为助燃剂与、丙烷等可燃气体配合使用，达到焊割金属的效果，各行各业中，特别是机械企业里用处很广，作为切开之用也很方便，一种切开方法。
气瓶推行固定充装企业充装规章制度，公司严格依照气瓶管理条例，气瓶充装企业只充装已有气瓶和代管气瓶，制止为所有别的个人或企业充装气瓶。气瓶充装前，充装企业需有专职人员对气瓶逐支进行充装前的查验，确认气瓶内气体并进行记载。无生产制作许可证企业生产制作的气瓶和未经许可安全监察机构许可认可的进口气瓶制止充装，制止充装逾期未检气瓶和改装气瓶。
