天津金属样品电镜测试-9d实验室电镜分析(图)

保持光学部件的清洁对保证良好的光学性能非常重要，不使用显微镜时，显微镜必须用设备提供的防尘罩复盖。如果光学表面和仪器有灰尘和污垢，在擦拭表面之前必须用吹气球吹灰尘，或者用柔软的刷子去除污垢。光学表面应用无绒棉布、透镜纸或透镜清洁液湿棉签清洁。请不要使用过多的溶剂。擦拭镜纸和棉签要适当湿润溶剂，但不要因为使用过多的溶剂而渗透到镜子里，镜子的清晰度会下降，镜子会损坏。

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的， 分辨本领也很高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。

由电子发射的电子束高可达30keV， 经会聚透镜、物镜缩小和聚焦， 在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下， 入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用， 将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用， 可将各个方向发射的二级电子汇集起来， 再将加速极加速射到闪烁体上， 转变成光信号， 经过光导管到达光电倍增管， 使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极， 调制显像管的亮度。因而， 再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，天津金属样品电镜测试，用于放置样品。

需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。