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焚烧法是利用高温焚烧过程将有机废气转换成CO2与H2O，根据废气的焚烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的焚烧化与350摄氏度～450摄氏度触媒焚化二类，因触媒式易造成触媒毒化，故很少采用这种方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子分离，催化燃烧设备价格，而净化有机废气。适用于集成电路产业的有机废气处理方法有吸附法和焚烧法。

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催化燃烧设备是一种类似热氧化的方式来处理VOC的， 它净化有机物是用铂、钯等催化剂及过渡金属氧化物催化剂来代替火焰，操作温度较热氧化低一半，通常为250 ℃～500 ℃。由于温度降低，允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料，大大地降低设备费用和操作费用。与热氧化相似，系统仍可分为间壁式催化燃烧和蓄热式催化燃烧两类热量回收方式。 间壁式催化燃烧设备（简称为TRO）是在催化床后设一个换热器，该换热器在降低排放气温度的同时，也预热含VOC的有机废气，其热回收达60 %～75 %。该类氧化器早已用于工业过程。 蓄热催化燃烧设备（简称为RCO）是一种新的催化技术。它具有RTO有效回收能量的特点和催化反应的低温操作及能量有效性的优点，将催化剂置于蓄热材料的顶部，来使净化达到很高。RCO系统性能的关键是使用的催化剂，浸渍在鞍状或是蜂窝状陶瓷上的金属或过渡金属催化剂，允许氧化发生在RTO系统温度的一半，既降低了燃料消耗，rco催化燃烧设备，又降低了设备造价。 有的地方已经开始使用RCO技术进行有机废气的消除处理，很多RTO设备已开始转变成RCO，这样可以削减操作费用达33 %～75 % ，并增加排放气流量达20 %～40 %。

催化燃烧装置由PLC控制器、文本显示器、变频调速器、点火器、紫外线传感器、热电偶等电控设备以及风机，另外由零压阀调节燃气与空气的比例。催化燃烧电气控制系统工作过程分为三个状态：燃烧器工作状态、停止状态及参数设定状态。在工作状态中又分为点火过程和燃烧过程。由安装的热电偶检测出温度，催化燃烧设备，送文本显示器显示。PLc具有模拟量输入、输出模块，检测火焰燃烧信号和热电偶温度信号，将检测到的信号与设定的信号经过比较运算后，通过0～10V电信号控制变频器的输出频率来调整风机的转速，保持燃烧器的燃烧温度，这就是构成以设定温度为基准的控制系统；自动检测燃烧器温度信号与设定的温度比较，输出各类报警信号或直接停机。显示器可以显示燃气流量、燃烧温度和变频器输出频率。设定参数和工作状态等信息；可以通过显示器在线调整运行温度参数，修改设定温度控制风机的运行。该系统还设有多种保护功能，尤其是较强的逻辑互锁功能，从而保证系统工作可靠，并且具有较为完善的控制功能。