氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，检漏仪装置，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，一般会造成有效材料的浪费，如***材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。
氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，检漏仪使用，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，***准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。
质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞，使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，珠海检漏仪，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，氮氢检漏仪，在绝热板上方。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。
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