高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接质量。电源是将其它形式的能转换成电能的装置。常见的电源是干电池（直流电）与家用的110V-220V 交流电源。电源自“磁生电”原理，由水力、风力、海潮、水坝水压差、太阳能等可再生能源，及烧煤炭、油渣等产生电力来源。
新型电源IC 的静态电流都较小，一般为几十μA 到几百μA。个别微功耗的线性稳压器其静态电流仅1.1μA。另外，交流电源供应器，不少电源IC 有关闭电源控制端功能（用电平来控制），在关闭电源状态时IC 自身耗电在1μA 左右。不少便携式电子产品中有单片机，在电源因过热或电池低电压而使输出电压下降一定百分数时，电源IC 有一个电源工作状态信号输给单片机，使单片机复位。近年来发展的便携式产品都采用贴片式器件，电源IC 也不例外，主要有SO 封装、SOT-23 封装，μMAX 封装及封装尺寸小的SC-70 及新的封装等，使电源占的空间越来越小。
触发脉冲经过脉冲变压器隔离后经过预调器脉冲，功率放大后去触发调制板和截尾板工作。一般的输出电压精度为±2～4%之间，有不少新型电源IC 的精度可达±0.5～±1%；并且输出电压温度系数较小，一般为±0.3～±0.5mV/℃，而有一些可达到±0.1mV/℃的水平。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性，技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，同时重复性要求小于0.5%。
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