氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。
钢桶真空箱检测系统介绍1、特点（1）干式检漏（2）传送机构，真空氦质谱检漏仪，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性（3）检测结果准确，（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动***（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足（8）检测结束后，工件自动移出待检工位2、钢桶检测的关键技术参数（1）工件外形尺寸（2）真空箱内腔尺寸（3）检测工位数（4）检测节拍（5）检测精度（6）数据存储。
由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
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