和超过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板过滤器、无隔板过滤器、大风量过滤器，超过滤器等。另外还有三种过滤器，一种是超过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是型无隔板空气过滤器，具有作用，阻止***进入洁净车间，一种是亚过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。
油雾法起源于德国，GXG过滤器供应商，中国和前苏联也实行。测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定使用石蜡油，GXG过滤器生产厂家，油雾粒径为0.3~0.5µm。中准规定油雾平均重量直径为0.28~0.34µm，对油的种类未做具体规定。相关的标准有：中国GB6165-85，德国DIN24184-1990。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，南京GXG过滤器，浪费时间。德国油雾法已成为历史，GXG过滤器公司，德国于1993 年颁布了以计数法为检测方法的，欧洲标准EN-1822就是在德准的基础上制定的。我国只有少数单位使用该方法。
过滤器阻力调配 各个过滤器的阻力差别会影响风量平衡和气流均匀，安装时应将阻力过高或过低的个别空气过滤器剔除，将阻力大小相近的空气过滤器安排在同一房间中，同一房间中不同阻力的空气过滤器也宜均匀分散位置。对于单向流洁净室同一送风面上的空气过滤器，对阻力差值的要求更重要，按《洁净室施工及验收规范》规定，应符合以下关系：每台阻力实际值（额定风量下）=（0.95~1.05）×送风面上各台实际阻力平均值
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