光学显微镜可以用来观察常规***，整体上看到两种或几种相的分配比例，但是由于其放大倍数有限（一般放大倍数2000倍），很多***中的片层结构、针状结构、第二相、共晶体等很难清楚的观测到。扫描电镜利用其放大倍数大且连续可调的特点，实现了宏观形貌与显微***同时观测的目的。
景深大的特点使扫描电镜在分析常规实验断口、现场失效断口等方面获得了很好的应用，断口试样无需***，无需制样，放入样品仓可直接观察，这些都是光学显微镜、透射电镜等检测仪器所不能比拟的。首先，宏观观察失效断口，判断断裂源区及裂纹扩展方向；其次利用扫描电镜微观判定断裂源区及扩展区的断裂类型，结合失效件的原始情况、生产工艺、用户处理及使用情况、化学成分、金相检测、力学性能检测等得出结论。
如果电镜镜筒中的真空度差，不仅会明显缩短灯丝寿命，严重的还会造成高压电极间的打火、击穿，甚至会造成试样表面污染加快等问题。
另外，若所用的真空泵油质量不好，其饱和蒸气压大， 则腔体内真空度很难提高，这样不仅样品仓和电子通道易受到油蒸气的污染，时间长了能谱探测器的密封窗膜表面也会因受到污染物的黏附而变厚， 进而影响超轻元素和低能段的峰高。
关于大块样品的测试，的办法就是将样品裁小，样品尺寸变小，对应的气孔也会变少，电镜的真空度也就很容易上去。
如果样品不能裁剪，需要将样品充分干燥，适当升高烘干温度，还可将样品放入喷金仪中抽真空一段时间，这样能减少样品内部的空气。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，天津金属样品电镜测试，用于放置样品。
需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
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