







石墨热场主要由三种材料组成:特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件。石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。单晶炉用石墨热场系统简介:热系统长期使用在高温下,所以要求石墨材质结构致密、坚固、耐用、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。多晶石墨热场

热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,北海多晶石墨热场,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。金属屏在遇到铜焊合金溅射的情况下很容易受到损伤,导致屏的表面形成孔洞,多晶石墨热场厂家,热量会从这些孔洞中传递出去。当然,使用厚一些的金属屏特别是钼合金的屏会延长金属热场的使用寿命,但是却增加了可观的成本。多晶石墨热场

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