




1200℃开启式管式炉的优点有什么?相信很多小伙伴都不太了解,下面就让【 河南成仪设备科技有限公司】来带大家详细的了解下吧。
1200℃开启式管式炉具有基础温度低、沉积速度快、成膜质量好、不易开裂等优点;在此过程中,由于等离子体中的高速电子撞击中性反应气体分子,中性反应气体分子会变成碎片或处于活化状态,容易发生反应;在射频的帮助下,含有薄膜原子的气体在局部形成等离子体,等离子体具有很强的化学活性。
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迷你管式炉使用惰性气体作为工作气体时应该怎么做呢?不知道大家有没有了解过,下面就让【河南成仪设备科技有限公司】来带大家一起了解下吧。
①接通工作气体气路,将管式炉气体出口端连接机械泵。
②打开管式炉进气阀,合上真空泵电源,打开出气阀(注意把住法兰,避免炉管受力过大),抽空刚玉管和气体管路。
③当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭出气阀,关闭进气阀。
④逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。
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管式炉功能有哪些呢?不知道大家有没有观察过,下面就让【河南成仪设备科技有限公司】来带大家一起了解下吧。
密封系统:该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸、气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
供气系统(选购):客户可通过供气系统上的浮子流量计或质子流量计控制气体的流速。
【河南成仪设备科技有限公司】是一家专注于高校、科研院所等实验室电炉和工业生产用炉的研发与生产型企业。主要生产:真空管式炉,箱式炉,气氛炉,淬火(蘸火)炉,快速退火炉,CVD薄膜生长炉,推板窑,辊道窑,网带窑炉等,主要用于科研实验室和民用新材料生产领域。