高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和一些气体混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作，它比其他燃料更便宜。
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作为工业气体的氧，主要来源于大气，经过空气分离的手段而获得，也有少量的来源于电解水和其他方法。氧气产品可分为工业用氧、氧、航空呼吸用氧、高纯氧、药典氧、电子氧等品种。与各种燃料气相混合，氧气为焊接、切割、金属加工提供热能。富氧燃烧有利于提高生产效率，并减少有危害的燃烧副产品。
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1、贮存高纯气体瓶的库房及运输车辆都严禁与油脂类物品同贮、同运。如库房、车辆沾染有油污要清除掉，才能贮存或装运。
2、氧气瓶上及贮存氧气的库房应有严禁油脂的标志，提醒人们留意除了氧气瓶不准接触油脂外包括与氧气接触的附件，都不能接触油脂。
3、氧气瓶在贮存、运输进要戴上安全帽，防止油脂或尘埃的侵进或氧气瓶嘴受到机械损伤。
4、假如钢瓶一旦粘染上油脂类物质，应该用清洗剂等及时擦净。
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