和超过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板过滤器、无隔板过滤器、大风量过滤器，超过滤器等。另外还有三种过滤器，一种是超过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是型无隔板空气过滤器，具有作用，阻止***进入洁净车间，一种是亚过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。
过滤器安装以后必须要进行检漏；要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点；要测量过滤器上游的粒子浓度；根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定 K 值；建议采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。
过滤器特点：1、过滤精度高：对水中悬浮物的去除率可达95%以上，舟山GXG过滤器，对大分子有机物、病毒、***、胶体、铁等杂质有一定的去除作用，经过良好的混凝处理的被处理水，进水为10NTU时，GXG过滤器***，出水1NTU以下；2、过滤速度快：一般为40m/h，可达60m/h，是普通砂滤器的3倍以上；3、纳污量大：一般为15～35kg/m3，GXG过滤器公司，是普通砂滤器的4倍以上；4、反洗耗水率低：反冲洗耗水量小于周期滤水量的1～2%；5、加药量低，GXG过滤器供应，运行费用低：由于滤床结构及滤料自身的特点，絮凝剂投加量是常规技术的1/2～1/3。周期产水量的提高，吨水运行费用也随之减少；6、占地面积小：制取相同的水量，占地面积为普通砂滤器的1/3以下；7、可调性强。过滤精度、截污容量、过滤阻力等参数可根据需要调节；8、滤料，寿命20年以上。
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