






●净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,风淋室报价,位置应布置在空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。●净化空气调节系统设计应合理利用回风,凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。

复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

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