电子洁净室污染因素：
一、电磁噪声
通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。
二、振动
设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。
应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。
三、生锈
酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。
处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。
洁净室等级标准
洁净室按空气清洁程度分类，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm。
例如，1级、10级、例如100级无尘室较大尘埃粒子数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。
如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示，分别分为1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，数值越小，净化级别就越高。洁净度越高造价就越高。
因为将设立相近的工程项目生产车间，清理洁净车间供电和排水管道的方式，立即危害洁净车间的气体清理，因而在标准中管路务必先放到净化车间，现阶段净化车间管路的合理布局是在技术性中，组装式洁净室，间层和技术性上设定好多个干管，针对左右内层净化车间，关键的给污水管道关键坐落于中低层，净化车间，是一个恒温恒湿设备的生产车间，必须各种各样管路。
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