洁净室施工的一般规定
1、洁净室建筑装饰施 工应于屋面防水工程和外围护结构完成;外门、外窗安装完毕;主体结构验收后进行。其内容包括:室内装饰工程、门窗安装、缝隙密封以及各种管线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等。与建筑的结合部位缝隙的密封作业。
2、洁净室建筑装饰施工进度安排，应与其他专门的工种制定明确的施工协作计划。按程序施工，互相配合。
电子洁净室污染因素：
一、电磁噪声
通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。
二、振动
设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。
应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。
三、生锈
酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。
处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。
新型洁净棚(组装式洁净室)采用工业铝型材或不锈钢方通、烤漆方通做主体框架，利用双层黑色规边设计的中空钢化玻璃四周维护，底部排风为双层喷漆钢板，大风量风机滤网机组(FFU)送风，系统可对风机滤网机组(FFU)进行开关模式设置(工作模式、 值班模式)实现远程FFU的风速调节以及FFU的故障报警，洁净室，其内部洁净等级可达1-100级，适用于100mt以内，或操作区内局部净化级别要求高的区域。
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