洁净室无尘室-腾义|按需规划设计

半导体、集成电路生产的无尘车间要求半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求，而且也需进一步控制粒子数；同时，对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。

洁净室风机外壳的选择由于洁净室工程的厂房按照不同的使用要求，会有不同的级别要求，如10级、100级、10000级等，这就使得洁净室工程存在不易克服的问题，而风机过滤器单元(简称FFU)的出现相对解决了这些问题。在选择FFU风机外壳结构的时候，不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏，而且还要考虑能用***消毒，以及FFU使用的环境，因此***好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。

洁净室风淋室的结构说明：由箱体风淋室，不锈钢（钢涂料颜色钢门与所述门或窗），洁净室无尘室，粗过滤器，过滤器，风扇门，气室，喷嘴互锁控制器，操作面板，若干传感装置的部件。通过弯曲，用油漆处理加强件沿着形成风淋室板焊接钢板，安装到由不锈钢的表面上。冷轧用于制造壳体，静电喷涂或油漆表面处理，美观，不锈钢底部制版磨损，容易清洁钢板。箱体主材及外形尺寸可根据客户要求定制。