整机尺寸:0.6m×0.6m×0.5m
扫描范围:手动:200mm×100mm×50mm; 自动:200mm×25mm×50mm
典型扫描耗时:≤45s(测试条件:扫描区域10mm×10mm,分辨率50um)
扫描速度:300mm/s
图像推荐分辨率:1~4000um
厚度检测范围:根据客户工件的材料和厚度选配。
***精度:X/Y≤±1μm,Z≤±10μm
重复***精度:X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm
一键校准、手动扫描(A/B/C扫描模式)、批量扫描、导出报告、探头切换、强度检测、相位检测、厚度检测、断层检测。