扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。
1.环境温度要求:20~35℃
2.环境相对湿度:35℃≤50%RH
3.工作电源:220V±10%/50Hz,2KW
220V/50Hz,3KW
4.水源:自来水,或去离子水,水温要求:15~30℃
5.周边环境:
不要放在强磁场、电磁波和产生高频设备的旁边。
减少振动。
灰尘少、湿气少,没有腐蚀性气体的地方。
电源的变化,限制到较小。
为了防止***的损坏,四周一定要固定。