扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。
整机尺寸:1m×0.85m×1.3m
扫描范围:500mm×350mm×110mm;
典型扫描耗时:小于30s(测试条件:扫描区域10mm×10mm,分辨率50um);
扫描速度:1000mm/s;
图像推荐分辨率:1~4000um;
厚度检测范围(根据客户工件的材料和厚度选配)
Ag材料: Cu材料:
0.3 ~ 1.5mm(25MHz探头); 0.5 ~ 1.4mm(25MHz探头);
1.0 ~ 4.0mm(15MHz探头); 1.2 ~ 3.7mm(15MHz探头);
***精度:X/Y≤±1μm,Z≤±10μm;
重复***精度:X/Y≤0.01mm,Z≤±0.02mm