




工艺布置应符合下列要求:
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下,无尘车间厂,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,无尘车间安装,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独的物料人口,物料传递路线应为短的,物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
洁净厂房位置选择和总平面布置
.条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应实际测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
第2.条洁净厂房为大的频率风向上风侧有烟囱时,无尘车间,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。
完成验收清洁车间1.验证清洁车间各分支机构的检查质量。 2.每个分支项目中所有类型设备的单机测试验证应符合本规范第5章至2章的有关规定。 3,各***各系统的单机试验合格后,应检查无生产负荷的稳定运行情况。 4.清洁车间竣工验收后,施工方应编制竣工验收报告。主要内容如下:(1)感知检查记录; (2)子测试记录和分析意见(包括测试点的位置和坐标)()); (3)测试仪器的有效校准证书。

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