气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)D 定片真空泵 S 升华泵X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵,H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。
喷射真空泵:它是利用文丘里效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:① 液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵:以蒸汽(水、油蒸汽)作为工作介质的饿喷射真空泵