若需要用能谱或波谱仪来作成分分析的样品，蒸镀碳膜。碳为超轻元素，碳膜对射线吸收小，三维重构价格，而且增加的谱峰也仅有一个碳的K锋，对定量分析结果的影响也小。蒸碳时通常会用高真空的碳镀膜仪，需要注意的是蒸碳时对镀膜仪的真空度要求高，碳棒点燃时的温度也高，会有高温热辐射，对有机高分子和生物等不耐热的样品容易引起灼伤。所蒸的碳膜要均匀，膜厚控制在10~15 nm之间，三维重构机构，对于凹凸起伏严重的样品，所镀的膜层应适当增加到15~20 nm。
扫描电子显微镜(scanningelectronmicros
扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。
由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。
库尔特原理（亦称:电阻法、电脉冲法）:悬浮在电解液中的颗粒随电解液通过小孔时，取代相同体积的电解液，在恒电流设计的电路中导致小孔管内外两电极间电阻发生瞬时变化，产生电位脉冲。脉冲信号的大小和次数与颗粒的大小和数目成正比。库尔特原理属于对颗粒个体的测量和三维的测量，不但能准确测量物料的粒径分布，更能作粒子数目和浓度的测量。其所测粒径更接近真实，而且不象激光衍射散射原理受物料的颜色和浓度的影响。
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