净化洁净室-腾义|按需规划设计

净化风淋室维护要点1，在更换过滤器框架被确认无泄漏，并通过尘埃粒子计数器检测到后，在到达正常的工作规格后只。2，电气线路定期检查，如故障可以与参考图1的电原理进行修复。3，定期门包络，该电子锁与钥匙孔其对齐，净化洁净室，以避免锁定销卡住。4，此设备使用不超过50℃的温度℃，并且禁止使用明火。以上四点就是净化风淋室维护要点。

洁净室属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。

洁净室风淋室的结构说明：由箱体风淋室，不锈钢（钢涂料颜色钢门与所述门或窗），粗过滤器，过滤器，风扇门，气室，喷嘴互锁控制器，操作面板，若干传感装置的部件。通过弯曲，用油漆处理加强件沿着形成风淋室板焊接钢板，安装到由不锈钢的表面上。冷轧用于制造壳体，静电喷涂或油漆表面处理，美观，不锈钢底部制版磨损，容易清洁钢板。箱体主材及外形尺寸可根据客户要求定制。