




如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方,如供暖,通风和空调(HVAC),台州层流***室净化工程,过程冷却,压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径,尽可能地压缩初始***,而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

净化厂房原理
气流—初效空气处理—空调—中效空气处理—风机送风—净化管道—送风口—洁净室—带走尘埃—回风夹道—新风。
不同等级设计参数:
换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
压差:主净化车间对相邻车间≥5Pa
温度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%;
照度:≥300Lux。
应进行洁净室的试验压差试验,层流***室净化工程价格,以测试洁净室(区域)与周围环境之间的静压差。静压差试验应在洁净室(区)的风速,层流***室净化工程安装,风量和供气均匀性合格后进行。要检查安装的空气过滤器的泄漏情况,测试洁净室(区域)中空气过滤器的完整性和安装质量,在安装的空气过滤器的上游侧引入测试气溶胶,并立即在供气口和过滤器扫描泄漏检测在设备周边,外框和安装框架之间的密封处进行。泄漏测试可以在“空状态”或“静态”下执行。为了确认洁净室(区域)的气流模式和气流方向,在上述检测达到要求之后执行1气流模式检测。

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