合理地选用精密零部件加工设备。粗加工主要是切掉大部分加工余量,并不要求有较高的加工精度,所以粗加工应在功率较大、精度不太高的机床上进行就可以了。而精加工工序则要求用较高精度的机床加工。粗、精加工分别在不同的机床上加工,莱西磨加工,既能充分发挥设备能力,又能延长精密机床的使用寿命。在粗加工之后和精加工之前,还应安排低温退火或时效处理工序来消除内应力。这一点非常的重要,有条件,尽量还是要把精加工和粗加工分开。






微型机械在国外已受到部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。美国MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器、大机遇:关于新兴领域--微动力学的报告"的***建议书,声称"由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性,应在这样一个新的重要技术领域与其他***的竞争中走在前面",建议***财政预支费用为五年5000万美元,非标件磨加工,得到美国***机构重视,连续大力***,并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大***。美国宇航局***1亿美元着手研制"发现号微型",美国***科学会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划,从1998年开始,资助MIT,加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发,年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。把MEMS列为关键技术项目。美国研究计划局积极***和支持MEMS的研究和应用,车刨铣磨加工,现已建成一条MEMS标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究,如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔***研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(BSAC)得到和十几家公司资助1500万元后,建立了1115m2研究开发MEMS的超净实验室。

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