气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有四种类型：吸附泵，吸气剂泵，吸气剂离子泵，低温泵。常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）D 定片真空泵 S 升华泵X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵，H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
正确地组合真空泵；由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
高真空系滑阀式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump）广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。
