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真空机组运行故障原因及解决方法：
运转声音异常原因：
1、气体冲刷或喷射；
2、轴承失效
3、吸、排气管壁太薄；
处理方法：
1、把排气口引出室外；
2、检查轴承温度及声音，更换润滑油或更换轴承。
3、采用管壁较厚的气管；
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真空机组中泵抽速的配合：
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系，可根据稳定流动下，流量恒定关系来确定。
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罗茨真空机组开机前的准备
1、检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。
2、检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。
3、检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，如出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。
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