对过共析钢，横沥高速钢真空热处理，正火可以消除网状二次渗碳体，并使珠光体细化，不但改善机械性能，而且有利于以后的球化退火。对低碳深冲薄钢板，正火可以消除晶界的游离渗碳体，高速钢真空热处理，以改善其深冲性能。
对低碳钢和低碳低合金钢，东坑高速钢真空热处理，采用正火，可得到较多的细片状珠光体***，使硬度提高到HB140-190，避免切削时的“粘刀”现象，茶山高速钢真空热处理，改善切削加工性。对中碳钢，在既可用正火又可用退火的场合下，用正火更为经济和方便。
真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。
钢的淬火是将钢加热到临界温度Ac3（亚共析钢）或Ac1（过共析钢）以上温度，保温一段时间，使之全部或部分奥氏体化，然后以大于临界冷却速度的冷速快冷到Ms以下（或Ms附近等温）进行马氏体（或贝氏体）转变的热处理工艺。通常也将铝合金、铜合金、钛合金、钢化玻璃等材料的固溶处理或带有快速冷却过程的热处理工艺称为淬火。是对中碳钢提高材料综合机械性能的一种热处理方法，淬火加高温回火。
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