金刚石刀具切削较硬的材料时磨损较快，非标件精密机加工，如切削黑色金属时磨损速度比切削铜快104倍，配件精密机加工，而且加工出的工件的表面粗糙度和 几何形状精度均不理想。 超精密磨削 但磨削加工后，被加工的表面在磨削力及磨削热的作用下金相***要发生变化，精密机加工，易产生加工硬化、淬火硬化、热应力层、残余应力层和磨削裂纹等缺陷。 超精密磨削 用修整过的砂轮在精密磨床上进行的微量磨削加工，五金精密机加工，金属的去除量可在亚微米级甚至更小，可以达到很高的尺寸精度、形位精度和很低的表面粗糙度值。
光整加工。光整加工后的工件。这个也是一步，同样非常的重要。主要表面的光整度的加工（如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滚压加工等），应放在工艺路线阶段进行，加工后的表面光洁度必须要达到客户的要求，一定要确保加工出来的精密零部件安放，争取做到轻拿轻放，因为轻微的碰撞都会损坏表面，在光整加工后，都要用绒布进行保护，不准用手或其它物件直接接触工件，以免光整加工的表面，由于工序间的转运和安装而受到损伤。
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加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下，使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工。
精密机械加工的工艺效果是：
①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级；
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能满足配合力的要求；
⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。
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