在中真空气氛下，在阳极与阴极之间加1~2.5kV的直流高压，使溅射仪的样品仓中残留的空气或人为注入的惰性气体被电离，气体被电离成带正电的阳离子和带负电的电子，并在电场的作用下，阳离子被加速飞向阴极，而电子被加速飞向阳极。如果阴极用金属靶材作电极，那么在阳离子轰击其表面时产生辉光放电，就会把阴极靶材表面的原子或原子团轰击出来，并在样品表面沉积成膜，这种过程称为溅射。此时被溅射出来的金属原子是中性的，即不受电场力的作用，主要靠重力的作用和残余气体的碰撞而向下飘落。
扫描电子显微镜的优点是什么?
扫描电子显微镜（扫描电子显微镜、扫描电镜/SEM）的基本组成部分是传输系统、电子系统、电子采集系统、观察记录系统以及相关的电子系统。那么，扫描电子显微镜的优点是什么呢？扫描电子显微镜（SEM）是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种微观形貌扫描电子显微镜观察方法。它可以直接利用样品表面材料的材料特性进行显微成像。
扫描电子显微镜的优点是：
①放大倍数较高，20万～20万倍连续可调；
②具有大景深、大视野、立体影像，可直接观察各种样品的凹凸不平表面，肇庆双束扫描电镜测试，精细结构；
③样品制备简单。
目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置，既可以观察微观结构，又可以分析微观区域的成分。因此，它是当今非常有用的科研仪器。
若灯丝的加热电流偏小，未达到临界饱和点，则会使灯丝的温度偏低，发射束流偏小且不稳定，结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差；若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点，则发射的束流既稳定，亮度又高，双束扫描电镜测试中心，图像的信噪比又比较好；若加热的电流超过临界饱和点，则只会增加灯丝的温度，而发射束流不会有明显增加，但会明显缩短灯丝的寿命，这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时，寿命短的甚至不到20小时。所以在正常工作时，应把灯丝的加热电流设置在临界饱和点，只有在这种状态下，双束扫描电镜测试费用，阴极发射的束流才能连续、稳定，且能提供足够的亮度，并且灯丝才能达到正常的预期寿命。
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