






扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生,但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它,才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成:真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方,都用SEM代替。
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。
之所以采用真空,主要基于以下两个原因:
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。

电子半导体材料是现代制造的基础,是推动集成电路产业发展创新的关键,几乎贯穿整个集成电路制造过程。电子器件在实际服役过程中,天津生物样品电镜分析,由于设计原因或器件与环境相互作用,性能或结构发生变化,可能会出现性能下降或者***,需要对失效的原理、机理进行明确并制定相应的改善措施。
扫描电镜通常使用10KV~30KV加速电压工作,可获得图像;微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品,如:半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物***、高分子材料等,有时不允许进行导电处理,而要求直接观察。即可选用低电压成像技术,选用1~5KV或更低的加速电压进行成像。

若粉末自身导电,则可直接放入台式扫描电镜中分析,若粉末自身不导电,除非用环境扫描或低真空台式扫描电镜,否则还需蒸镀导电膜后再放入台式扫描电镜中分析。对粉末颗粒的蒸镀选用旋转镀膜台,若没有旋转镀膜台,则至少应采用两次人为相反方向的倾斜摆放进行镀膜,才能解决粉末颗粒造成的掩蔽死角所带来的不利影响,而对于那些用环氧树脂镶嵌并经研磨、抛光、清洗后的样品,通常只要平放蒸镀一次就可以进行分析。

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