






电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后,电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子,通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米,显示器的像素超过100微米,因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描,并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制,就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。

我们所要观察的试样在一定区域的特征,则是采用台式扫描电子显微镜的逐点成像分解法显示出来的。试样表面由于形貌不同,对应于许多不相同的单元(称为像元),它们在电子束轰击后,天津不导电样品电镜测试,能发出二次电子、背散射电子等信号,依次从各像元检出信号,再一一传送出去。传送的顺序是从左上方开始到右下方,依次一行一行地传送像元,直至传送完一幅或一帧图像。采用这种图像分解法,就可以用一套线路传送整个试样表面的不同信息。

当有电流流经灯丝时,阴极被直接加热,钨灯丝中的电子受热激发,在加速电场的作用下,电子定向发射。在正常的工作温度下,电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时,其发射电流以指数的方式快速增长,使得束斑亮度大增。但由于钨阴极自身温度升高,使之蒸发加快,阴极丝直径随着蒸发量的加大而变小,也随使用时间的增长而变得越来越细,导致阴极丝断开。因此,灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流也随灯丝的变细而减小,其寿命也随加热温度的升高而降低。

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