






扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生,但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它,才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成:真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方,都用SEM代替。
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。
之所以采用真空,主要基于以下两个原因:
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器
扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是二次电子检测器SEI),许多还配备了额外的检测器,如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等,但具体仪器的特殊功能强烈依赖于一个合适的检测器,检测器的安装角度是样品分析室的设计,对分析效果有很大的影响。深入了解各种功能机制,可以获得佳的电子显微镜分析质量。
低倍数下有了较为清晰图像后。将倍数放大至大于要拍摄倍数后(比如要拍摄1000倍,投射电镜分析费用,放大至5000或10000),将"平均"点数切换至5,然后将光标放至"聚焦微调"圆钮上,缓慢滚动滚轮,调整至图像清晰位置。然后切换至"镜组配置",依次调整四个"消像散"条,至图像清晰为止。

扫描电镜对样品的要求有哪些呢?
首先样品要保持干燥,不会被电子束分解,投射电镜分析机构,在电子束扫描下热稳定性要好,投射电镜分析哪家好,能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装,韶关投射电镜分析,观察面要清洁,没有污染物。若需要进行微区成分分析,样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁,磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上,会对电镜的分辨率造成影响,所以需要先消磁再上机测试。

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