为了充分消除淬火时产生的内应力，要进行高温回火，因此应采用能承受高温回火的钢种(如DC53型、ASP—23、高速钢等)，以稳定的放电条件进行加工；放电加工后，作稳定化松驰处理；设置合理的工艺孔、槽；充分消除再凝固层，以便在健全的状态下使用；利用矢量平移原理，对切割前哨已集中的部分内应力傲切通引流分散释放。
脱碳是由于钢件在加热或保温时，因周围气氛的作用，表面热处理使表面层部分的碳全部或部分丧失的现象和反应。钢件的脱碳不仅会造成硬度不足、淬裂和热处理变形及化学热处理缺陷，而且对疲劳强度、耐磨性及模具性能也有很大影响。
（1）真空表面热处理操作简单，提高了生产能力。与常压表面热处理相比，真空表面热处理对工人的操作要求简单，过失不简单，简单。真空表面热处理后的机械部件可直接用于电镀，表面热处理炉，无需除油、清洗或其他外观加工，消除了许多辅助加工过程，节省了加工时间和加工成本，表面热处理，降低了生产成本。
（2）真空表面热处理机械零件质量好，机械性能提高，可延长使用寿命。真空淬火可以将任何油淬火和气淬火数据淬火到高硬度；用真空表面热处理代替盐浴的高速钢可以起到很好的作用，如增加工具的使用寿命，工具不会出现渗碳、脱碳、氧化、氢脆等问题；真空表面热处理的机械零件变形小，不易开裂。例如，表面热处理真空炉，高速钢燕尾铣刀的真空加热，然后真空淬火不会开裂。零件采用真空油淬火，变形量仅为一般油淬火的1/10，真空表面热处理后不能进行2~3倍。
此外，表面热处理设备，模具的使用寿命可以延长40%~400%，东西的使用寿命可以延长。
1.真空炉处理钛合金时，氮气不宜作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成金***氮化钛。
2.有些真空炉的活动连接采用O型橡胶圈密封连接，有些通过水冷却。
3.工件在真空状态下淬火时，应使用真空淬火油，蒸汽压低。
4.真空炉的维护应在真空或充纯氮状态下进行，避免平时不用时吸气、吸潮。
5.国内真空炉的压升率不得超过1.33Pa/h，国外一些公司的标准为0.67Pa/h。
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