日本通产省1991年开始启动一项为期10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划,研制两台样机、进入***进行诊断和微型***,车方机加工厂家,另一台用于工业,对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修。该计划有筑波大学、东京工业大学、东北大学、早稻田大学和富士通研究所等几十家单位参加。
欧洲工业发达***也相继对微型系统的研究开发进行了******,德国自1988年开始微加工十年计划项目,车方机加工,其科技部于1990~1993年拨款4万马克支持"微系统计划"研究,工件车方机加工,并把微系统列为本世纪初科技发展的***,车方机加工公司,德国的LIGA工艺,为MEMS的发展提供了新的技术手段,并已成为三维结构制作的优选工艺。法国1993年启动的7000郎的"微系统与技术"项目。欧共体组成"多功能微系统研究网络NEXUS",联合协调46个研究所的研究。瑞士在其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上也投入了MEMS的开发工作,1992年***为1000万美元。英国也制订了纳米科学计划。在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。为了加强欧洲开发MEMS的力量,一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。








生产过程是指从原材料(或半成品)制成产品的全部过程。对机器生产而言包括原材料的运输和保存,生产的准备,毛坯的制造,零件的加工和热处理,产品的装配、及调试,油漆和包装等内容。生产过程的内容十分广泛,现代企业用系统工程学的原理和方法***生产和指导生产,将生产过程看成是一个具有输入和输出的生产系统。能使企业的管理科学化,使企业更具应变力和竞争力
在生产过程中,直接改变原材料(或毛坯)形状、尺寸和性能,使之变为成品的过程,称为工艺过程。它是生产过程的主要部分。例如毛坯的铸造、锻造和焊接;改变材料性能的热处理[1];零件的机械加工等,都属于工艺过程。工艺过程又是由一个或若干个顺序排列的工序组成的。[1]
工序是工艺过程的基本组成单位。所谓工序是指在一个工作地点,对一个或一组工件所连续完成的那部分工艺过程。构成一个工序的主要特点是不改变加工对象、设备和操作者,而且工序的内容是连续完成的。


加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下,使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工。
精密机械加工的工艺效果是:
①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级;
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能满足配合力的要求;
⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。


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