






扫描电子显微镜在微观领域的研究中是非常实用且的仪器。经过半个多世纪的发展,扫描电镜的功能已经得到了很大完善,它可以与许多仪器联用,不仅可以观察样品的形貌,也可以对样品成分或晶体结构进行分析。在分析测试之前,制备一个好的样品就显得尤为重要了,扫描电镜制样的好坏直接关系到图像的拍摄、观察和对图像的分析。如果样品制备得不合适,没有达到扫描电镜的观察条件,即便所使用的扫描电镜性能再好也很难拍摄出满意的图像和得出准确的分析结果。相较于透射电镜而言,扫描电镜的样品制备过程就显得简单多了。

在末级透镜上有扫描线圈,它的功能是使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用,产生各种信号(二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等),这些信号被相应的接收,天津金属样品电镜测试,经放大器放大处理后经过运算电路处理,呈现在显示屏上。由于扫描线圈的电流与运算电路的相应偏转电流同步,因此试样表面任意点的发射信号与显示屏上的亮度一一对应。也就是说,电子束打到试样上一点时,在显示屏上就出现一个亮点。

扫描电子显微镜(scanning electron microscope,简称扫描电镜/SEM)的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统,以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的,1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜(SEM)。
由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。

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