1960年代，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）问世，它利用高能电子束对样品进行扫描成像。 电子与构成样品的原子的相互作用可以产生包含样品表面的形貌、成分和其他信息的信号。从原理上讲，扫描电子显微镜是利用非常精细聚焦的高能电子束在样品上扫描，激发各种物理信息。 通过对这些信息的接受、放大和显示成像，可以获得对试样表面形貌的观察。桌面式扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种紧凑型电子显微镜，可以放置在实验台上进行操作。其原理与传统（落地式）扫描电子显微镜相同。 组成部分包括：电子发射、电磁透镜、信号检测、真空系统、计算机控制系统。
末级透镜上有扫描线圈的功能
在末级透镜上有扫描线圈，它的功能是使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用，产生各种信号（二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等），这些信号被相应的接收，张家口三维重构，经放大器放大处理后经过运算电路处理，呈现在显示屏上。由于扫描线圈的电流与运算电路的相应偏转电流同步，因此试样表面任意点的发射信号与显示屏上的亮度一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在显示屏上就出现一个亮点。
当一束超细高能入射电子轰击和扫描样品表面时，天津三维重构，激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续光谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见、紫外和红外区域的电磁辐射。同时可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是SEI)，其中许多配备了额外的检测器，三维重构费用，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等。但特定仪器的特殊功能强烈依赖于合适的探测器，探测器的安装角度，即样品分析室的设计，对分析效果影响很大。为了获得较高的扫描电子显微镜分析质量，我们应该对各种功能机制有深入的了解。
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