






选用低加速电压,即意味着使用低能电子束,入射样品后受到散射的扩散区域小,相互作用区接近表面,有利于表面形貌成像。常规加速电压观察半导体或绝缘体时,样品必须镀导电膜,这时形貌衬度是成像衬度,膜层完全掩盖了样品不同元素出射电子产率的变化,不能观察到样品的成分衬度。选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度,充分反映出材料的原貌。
对于某些导电性差的材料,如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维、或者含水的动植物样品,要求直接观察微观形貌,使用常规高真空(High vacuum,HV)成像受到限制,应该使用VP(Variable pressure,可变压力模式)或EP(Extend pressure,扩展压力模式)成像技术。

电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种。
一种是利用场发射效应产生电子,称为场发射电子。这种电子很昂贵,超过十万美元,并且需要不到10-10托的超高真空。 但它的使用寿命至少为1000小时,并且不需要电磁镜头系统。
另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化镧两种。 钨的寿命在30到100小时之间,价格便宜,但图像不如其他两种明亮,通常用作廉价或标准的SEM配置。六硼化镧的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时,天津不导电样品电镜测试,价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍,需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上;然而,它比钨更容易过饱和和热激发。

台式扫描电镜与传统的大型扫描电子显微镜相比,台式扫描电子显微镜具有体积小、操作简单、价格低廉、抽真空速度快等优点。台式扫描电子显微镜的分辨率可以满足大多数材料的显微观察。台式扫描电镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电镜之间的分辨率的空白,可广泛应用于材料科学、纳米粒子、生物***、食品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
扫描电子显微镜除了检测二次电子图像外,还可以检测背散射电子、透射电子、特征X射线、阴极发光等信号图像。成像原理与二次电子图像相同。

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