腾义|工程质量可靠-安徽洁净室设计公司

万级无尘车间标准包括哪些内容？压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，洁净室设计公司，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%，夏季洁净室湿度控制在50-70%。

洁净室龙骨架的选用由于FFU的风机过滤机组是直接安装在天花板骨架间，为了使过滤器既要更换简便快捷，又要使FFU的风机运行保持平衡，减少安装失衡的机率。因此一般考虑配套的龙骨架。这种龙骨架是采用机械冷轧成特殊几何形状(U形)的型钢，金属表面根据其环境不同，进行防腐处理(如静电喷涂、热冷镀锌、环氧等)，可以即保证了与之相似槽钢的强度，又满足了FFU运行的需求。

洁净室属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。