






电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后,电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子,通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米,显示器的像素超过100微米,因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描,并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制,就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。

中真空气氛下,在阳极与阴极之间加1~2
在中真空气氛下,在阳极与阴极之间加1~2.5kV的直流高压,透射电镜测试中心,使溅射仪的样品仓中残留的空气或人为注入的惰性气体被电离,气体被电离成带正电的阳离子和带负电的电子,并在电场的作用下,阳离子被加速飞向阴极,而电子被加速飞向阳极。如果阴极用金属靶材作电极,透射电镜测试机构,那么在阳离子轰击其表面时产生辉光放电,透射电镜测试费用,就会把阴极靶材表面的原子或原子团轰击出来,并在样品表面沉积成膜,这种过程称为溅射。此时被溅射出来的金属原子是中性的,即不受电场力的作用,主要靠重力的作用和残余气体的碰撞而向下飘落。

扫描电镜对样品的要求有哪些呢?
首先样品要保持干燥,不会被电子束分解,在电子束扫描下热稳定性要好,能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装,观察面要清洁,莱芜透射电镜测试,没有污染物。若需要进行微区成分分析,样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁,磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上,会对电镜的分辨率造成影响,所以需要先消磁再上机测试。

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