扫描电子显微镜（SEM）——一种电子光学仪器，它利用很细的电子束扫描被观察样品的表面，收集电子束与样品相互作用产生的一系列电子信息，三维重构价格，并对图像进行变换和放大。它是研究三维表面结构的有用工具。在高真空镜筒中，电子产生的电子束通过电子会聚透镜聚焦成细束，三维重构机构，然后逐点扫描轰击样品表面。产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），检测器接收各种电子信号，经电子放大器放大后输入到显像管控制的显像管。显像管网格。
扫描电镜结合其他设备的新分析功能
随着现代科技的发展，扫描电镜的其他组合分析功能也相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻；平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。如果将扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜结合起来，可以将普通的扫描电子显微镜升级为高分辨率的扫描电子显微镜。
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