洁净室FFU当使用FFU的时侯，洁净室的吊顶被分成了若干模块，每个模块就是一个FFU，这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求，从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管，故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时，FFU有效地解决了这一问题。
另外，如果的温度过高，则HEAP或ULPA这类滤层有可能被烧穿，使得危害更形雪上加霜，故而种假设无法成立。其次为蓄烟的问题，高架地板因为有开洞板的关系，会使得下层回风区火灾所产生的穿过开洞板，向上进入洁净室中而无法在高架地板下蓄积，使得排烟点的有效排烟范围于排烟闸门周围附近，因此只能抽取到少量的，故第二种假设亦难成立。一般而言，此类设计模式常见于老旧厂房的洁净室中，主要是因为从前的半导体厂在建立时会考虑到烟控系统，洁净室工程，后来因为需要，只好在一般排气风管上开洞，在加装控制闸门后做为排烟之用，如此对原来的设备及厂务系统影响少。
洁净室装修注意要点1、洁净室的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。2、洁净室内墙壁的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘，并应减少凹凸面。3、洁净室地面应平整，耐磨、易清洗，不易积聚静电(是一种处于静止状态的电荷)，避免眩光，不开裂等。4、洁净室内的颜色宜淡雅柔和。洁净室是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为洁净室。
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