




洁净室噪音控制FFU的风机一般为几台甚至几十台并联使用,当设计时要考虑FFU噪音的叠加,保证《洁净室厂房设计规范GB0073-2001》中明确规定“洁净室内的噪音级(空态),洁净室工程公司,非单向流洁净室不应大于60dB,单向流、混合流洁净室不应大于65dB”的要求。因此在选择风机时***好选择、压出式、直驱后径向叶片风机,这样可以降低整体噪音。

洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。

此外,高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体,例如SiH4、H2、PH3等,更增加厂房内的潜在***,若无适当的对策与措施,因此,为了降低火灾发生时人员的***与财物的损失,必须对建筑物进行烟流控制,这一点新加坡已强制规定执行,而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制***,其目的都是在降低火灾发生时,高温烟流对员工及设备污染的伤害。

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