1）火花鉴别法。在热处理生产中有经验的检验人员和热处理工，都能靠观察材料被砂轮磨削时产生的火花特征来鉴别零件材料的化学成分。
2）光谱分析法。用光谱仪可以测量和记录出不同元素的谱线的波长和强度，对照谱线表即可得出材料中所含元素及含量。
3）化学分析法。在实验室用化学分析的方法可以准确地分析出金属材料中所有元素的含量，这种方法在工厂中比较常用。
4）微区化学成分分析。微区化学成分分析的方法由电子探针x射线分析，桥头高速钢真空热处理，俄歇电子能谱分析，离子探针分析等方法。
国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些公司的规范为0.67Pa/h。真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离.升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低.8，真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样.真空热处理真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2Mpa，高速钢真空热处理，流量应可调.冷却气体：钢通常选用百分之99.99纯度的氮气，高温合金选用百分之99.99的氢气或亚气，钛合金选用百分之99.99的亚气.真空热处理升温：放入工件后，通常先预抽至6.67Pa时方可升温加热。
根据钢冷却转变规律，东坑高速钢真空热处理，希望在临界区域温度时冷却速度大，尽快通过C曲线的鼻子区域，以免转变成珠光体或贝氏体***，常平高速钢真空热处理，在马氏体转变开始的***区域，冷却速度必须慢下来以减少***转变产生***应力引起的变形甚至裂纹。双液淬火先在水中淬火然后转到油中冷却的道理即是如此。单液淬火即要求冷却介质具备这样的冷却特性：临界区域温度时冷却速度快，***区域温度时冷却速度要慢下来。淬火油的选择原则之二：高温时快冷低温时慢冷，兼顾硬度与变形的要求。
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